压电微传声器的有限元分析

摘要

利用ANSYS软件建立了压电微传声器的有限元模型,对器件进行了结构静力分析、模态分析、谐波分析,计算模拟出微传声器的本征频率.通过模拟和分析,对压电传声器的设计参数进行了优化.对比表明,有限元分析的结果与解析方法以及实验结果相一致.

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