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用CVD系统生长金刚石薄膜的实验及装置

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化学汽相沉积(CVD)是一种近年来兴起的薄膜生长技术,在现代物理科学技术的发展中扮演着重要的角色,掌握其原理与技术对学习近代物理学具有重要意义.我们在参考国外同类实验的基础上,设计研制了适合大学物理教学的CVD实验装置,它具有结构简单、成本低、安全可靠的特点,在过去的教学实践中取得了良好的教学效果.

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来源
《第十四次全国原子、原子核物理研讨会暨全国近代物理研究会第七届年会》|2002年|116-120|共5页
会议地点包头
作者
谢二庆; 宋长安;
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作者单位

中国核学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
金刚石薄膜; 实验装置; 化学汽相沉积; 薄膜生长;

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