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不同衬底材料在制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电陶瓷薄膜中的作用

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采用可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶法分别在Al<,2>O<,3>和Si(111)/SiO<,2>/Ti/Pt的衬底材料上制备了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜.通过SEM及XRD等微观分析手段,研究了不同衬底材料对凝胶膜与晶态膜的开裂情况.成相情况,晶体取向及微观结构等方面的影响.从实验和理论方面进行了探讨,为无机盐溶液源制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜提供了研究基础.

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来源
《第12届全国高技术陶瓷学术年会》|2002年|292-295|共4页
会议地点广东佛山
作者
季惠明; 张彬; 徐廷献; 徐明霞;
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作者单位

中国硅酸盐学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
衬底; SrBi,2Ta,2O,9; 薄膜制备; 溶胶-凝胶法; 铁电薄膜;

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