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热丝CVD金刚石膜的晶体学特征和晶体缺陷

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在P-Si(100)基片上沉积的热丝CVD金刚石膜具有很好的晶形,颗粒以立方八面体为主,还有少量的孪晶正二十面体和孪晶正十面体颗粒,颗粒间结合良好;膜中不存在生长织构.正二十面体和正十面体颗粒都是"五重孪晶"结构,在颗粒表面上与五重孪晶面对应的区域形成V形凹槽,这种V型槽对五重孪晶金刚石颗粒的长大有热力学和动力学两方面的有利作用.五重孪晶颗粒的每一孪晶片内均发生了两组(重){111}微孪晶,但在五重孪晶面两侧却存在"无微孪晶区",其内无微孪晶,但有少量位错.在已有颗粒上通过二次形核生成的金刚石颗粒也与原颗粒保持{111}孪晶关系.

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来源
《2002年中国材料研讨会》|2002年|521-526|共6页
会议地点北京
作者
罗承萍; 黄元盛; 刘江文; 邱万奇;
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作者单位

中国材料研究学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.18;TN304.055;
关键词
金刚石膜; 晶体学特征; 晶体缺陷; 化学气相沉积;

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