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量子级联激光器的材料生长与器件制作

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本文详细讨论了量子级联激光器的器件制作过程,包括材料生长,金属电极的制作等,对工艺过程进行了探索.对于10×800μm<'2>的激光器件,阈值电流密度是3kA/cm<'2>,峰值输出功率是~7.2mW.

著录项

来源
《第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议》|2002年|463-466|共4页
会议地点厦门
作者
常秀兰; 李成明; 刘峰奇; 王占国;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类半导体激光器;
关键词
量子级联激光器; 材料生长; 器件制作;

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