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洁净室—规程与规定

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从专业性建筑工程领域到工艺工程的发展最终要受到各种规范和规定的支持,一般来说,这些要求都与洁净室工程有关,它对洁净室工程和工艺工程的影响是最终的但并非是最小的,它体现于国家和国际颁布的GMP导则中,以确定适用的先进制造工艺的要求.

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来源
《第五届中国国际(北京)洁净技术论坛》|2002年|141-180|共40页
会议地点北京
作者
盖劳特·迪特; 艾文·伯克勒;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TU834.81;
关键词
洁净室; 微电子; 制药; 工艺工程; 规程; 规定;

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