RFMEMS串联开关的瞬态响应分析

摘要

本文报道了RFMEMS开关的瞬态响应实验过程以及结果,采用示波器对开关的波形进行了时域记录.实验数据显示,开关在达到域值电压之前,由于电容泄露,开关的电压波形略有下降.导通瞬间,开关的接触电阻变化很大.最后,对开关的瞬态响应进行了理论分析.

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