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一种大过载集成加速度计的设计

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本文介绍了一种新型的高过载弹道修正加速度计.这种加速度计由微机械工艺加工的硅微传感器和专用集成电路组成.其中专用集成电路包括温度补偿、滤波、电压/频率转换、电平调节和输入输出接口.硅微传感器的核心是一个悬浮的硅质量块,被四根悬臂梁支撑在硅架中.由于压阻效应,当硅质量块运动时,悬臂梁的电阻值将随之改变.敏感头放于硅基底和覆盖层之间的空腔中,使传感器能够抗高过载.

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来源
《中国兵工学会第十一届测试技术学术年会》|2002年|407-412|共6页
会议地点成都
作者
王卫祺; 郭涛; 张文栋;
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作者单位

中国兵工学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制导与控制;
关键词
加速度计; 压敏电阻; 温度补偿; 弹道修正;

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