AlAs氧化层的Raman研究

摘要

为了理解AlAs氧化层热稳定性、重复性差的机制,找到合适的氧化方法来得到高质量的AlAs层,本文对不氧化、刚氧化完和延长时间氧化的样品进行了Raman分析,通过实验发现适当延长氧化时间,可有助于As、As<,2>O<,3>等可挥发性氧化物残余物逸出得到了热稳定性的AlAs氧化膜.

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