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用催化剂控制硅纳米线直径的研究

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本文研究了固-液-固(SLS)生长机制中催化剂与硅纳米线直径的关系,发现Si片上沉积的催化剂厚度和种类对硅纳米线的直径都有一定的影响.当使用Ni做催化剂时,硅纳米线的直径与Ni膜厚度有关.其中硅纳米线的最大直径随催化剂厚度减小而减小,但最小直径基本不改变.当用Au做催化剂时,硅纳米线的平均直径和直径分布最小(10nm~20nm),但硅纳米线的直径不随Au膜厚度减小而减小.

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来源
《中国真空学会五届三次理事会暨学术会议》|2001年|15-1722|共4页
会议地点北京
作者
邢英杰; 奚中和; 薛增泉; 俞大鹏;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
硅纳米线; 固-液-固机制; 催化剂; 制备方法;

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