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离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜

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本文阐述了用离子束辅助沉积(IBAD)技术制备非晶合金薄膜的基本思路,介绍了本研究组在二元合金系统里制备非晶和亚稳晶相的研究结果.研究发现,在所选的几个系统里采用IBAD技术均实现了非晶化,还发现了某些新相形成和相演化现象,表现出与多层膜离子束混合(IM)不同的相形成规律.二元系统的形成热、组元金属的晶体结构和辅助离子束的能量对相的形成均有重要的影响.这些研究表明IBAD技术在二元合金系统中制备与研究非晶合金薄膜以及亚稳晶态薄膜方面具有很大的应用前景和理论意义.

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来源
《中国真空学会五届三次理事会暨学术会议》|2001年|1-4|共4页
会议地点北京
作者
潘峰; 曾飞; 赵斌;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
离子束辅助沉积; 非晶合金薄膜; 薄膜制备;

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