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微型無閥泵數值仿真與參數設計

摘要

介绍了一种基于MEMS工艺加工的新型无阀型微泵,与现有有阀型微泵相比具有结构简单、工作效率高、稳定性好以及可以进行参数化设计等优点.针对无阀泵收缩/扩散口的流动特征进行了数值分析,得出了流量、压力的具体分布公式和计算曲线.采用流体专业仿真软件FLUENT对泵内流体进行了有限元仿真,并将仿真与计算结果进行了分析比较.

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