梳状硅基微陀螺的'Top-down'集成设计及耦合场分析

著录项

• 来源
  《第五届全国微米/纳米技术学术会议》|2001年|197-200|共4页
• 会议地点 重庆
• 作者

  李伟剑; 苑伟政;

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• 作者单位

  国家自然科学基金委员会;

  科技部;

  解放军总装备部;

  清华大学;

  重庆大学;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 设计;
• 关键词

  微机电系统(MEMS); 集成设计; "Top-down"方法; 梳状硅基微陀螺; 耦合场分析;