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薄膜电路孔金属化工艺

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孔金属化技术在混合集成电路中的应用十分广泛,它对减小电路串扰和插入损耗、增加电路散热和可靠性方面具有较大的价值.笔者从工艺的角度出发,应用薄膜制造技术对孔金属化的制作过程进行了分析和研究,并对其在微波产品中的应用进行了介绍.

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来源
《第十二届全国混合集成电路学术会议》|2001年|56-5898|共4页
会议地点合肥
作者
谢飞; 高能武; 秦跃利;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜混合集成电路（薄膜电路）;制造工艺;
关键词
孔金属化; 激光加工; 光刻; 薄膜电路; 工艺流程;

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