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SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展

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SMIF是英语Standard Mechanical Interface的缩写.字面解释为“标准机械接口”作为洁净技术术语其实质含义为“将硅片在与操作者环境隔离的条件下运送,和在集成电路工艺设备之间转移的新技术”因为作为一种标准的方式在隔度条件下将硅片与工艺设备相接合,必须有密封的全自动开闭的统一接口即为SMIF.

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来源
《第五届海峡两岸制冷空调技术交流会》|2001年|26-30|共5页
会议地点上海
作者
周明孝;
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作者单位

中国制冷学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类空气净化;技术安全及卫生措施;
关键词
洁净技术; 洁净度; SMIF隔离技术; 集成电路生产;

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