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产生高浓度臭氧的基础理论与方法研究

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论述了介质阻挡绳离放电形成方法及其产生臭氧的等离子体反应过程，实现用电场强度、电子能量控制臭氧产生浓度和分解。为此，采用α型Al<,2>O<,3>制成电介质薄层(23μm)以及窄放电间隙(110μm)的新工艺、新技术，取得折合电场强度E/n大于400Td的强电离放电电子取得平均能量大小10eV，臭氧浓度达到250g/Nm<'3>，臭氧产生效率达到200g/kwh。进而，实现臭氧产生装置生产组合模块化、小型化。

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来源
《中国物理学会第九届静电学术年会》|2000年|27-33|共7页
会议地点石家庄
作者

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作者单位

中国物理学会;

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正文语种
原文格式 PDF
中图分类等离子体化学;
关键词
强电离放电; 电介质; 臭氧浓度; 窄放电间隙;

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