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SMA/Si复合驱动膜的温度场仿真研究

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本文利用有限元方法对SMA/Si复合驱动膜的温度场进行了仿真研究.研究表明,在周期性加热情况下,在驱动膜稳定工作后,Si框的温度会稳定在一个与膜内温度相当的较高值,而驱动膜内各处温度则在一固定的范围内随电脉冲周期振荡,各处振荡的幅度差别很大,中心温度的振幅最大.在驱动膜内存在较大的温度梯度,在膜框结合处附近的温度梯度最大.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|68-70|共3页
会议地点上海
作者
陈鉴; 王莉; 徐东; 程秀兰; 蔡炳初;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;
关键词
薄膜驱动器; 温度场仿真; 有限元分析; 复合驱动膜;

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