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双晶型SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟

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摘要

本文建立了SMA薄膜/基片的耦合数学模型,对溅射在基片上的SMA薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟,结果表明SMA薄膜/基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结构,该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多.该模型对于实际应用SMA膜/基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义.

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来源
《第四届全国微米/纳米技术学术会议》|2000年|115-118|共4页
会议地点上海
作者
王莉; 蔡炳初; 徐东; 陈鉴;
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作者单位

上海交通大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.055;
关键词
微驱动器; 薄膜/基片; 耦合驱动; SMA;

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