首页> 中文会议>第一届全国纳米技术与应用学术会议 >一种新型的单晶硅扭振式谐振器的初步研究

一种新型的单晶硅扭振式谐振器的初步研究

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文从可行性的角度出发介绍了一种微电子机械系统(MEMS)谐振器的新结构。它利用单晶硅作为扭摆式振动轴进行谐振。主要特点在于设计方法极大地降低了结构和材料的应力因素对频率和品质因子Q的影响，该文用Algor软件对其结构进行了分析，并提出了一种与集成电路(IC)工艺兼容的制作流程。

著录项

来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|227-229|共3页
会议地点厦门
作者
章彬; 黄庆安; 李拂晓; 林金庭;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类空腔谐振器;
关键词
谐振器; 扭振轴;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 一种新型自吸式喷嘴喷射性能初步研究 [J] . 周如金 ,李德豪 ,钟华文 . 化学工程 . 2008,第010期
2. 一种新型内乘波式进气道初步研究 [J] . 尤延铖 ,梁德旺 ,黄国平 . 推进技术 . 2006,第3期
3. 一种等离子体诊断的开放式谐振器研究 [J] . 涂一航 ,葛萌 ,李恩 . 宇航计测技术 . 2021,第002期
4. 地埋式瓶灌初步研究——一种提高低水头自压式灌溉灌水均匀度的新方法 [J] . 马璠 ,董立国 ,蔡进军 . 中国农学通报 . 2013,第32期
5. 一种新型"气动式腿式车"的改进研究 [J] . 李茗 ,陈坚 ,张毅 . 新技术新工艺 . 2017,第002期
6. 一种新型采用方环形双模谐振器内加载半波长谐振器的三模滤波器 [C] . ZHANG zhichong ,张智翀 ,CHU qingxin . 2013年全国天线年会 . 2013
7. 一种基于单晶硅的新型功率集成电路的设计与制造 [A] . 魏汝新 . 2005

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号