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GaAs微孔阵列的复制加工

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以“金字塔”状的锥体阵列作为电化学模板，利用约束刻剂层技术对半导体GaAs进行加工刻蚀。成功地复制出微孔阵列，并且其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合的很好。

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来源
《第一届全国纳米技术与应用学术会议》|2000年|250-253|共4页
会议地点厦门
作者
黄海苟; 夏善红; 孙立宁;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光刻、掩膜;
关键词
约束刻蚀剂层技术; 微加工; 微孔阵列;

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