微机械薄膜的加工技术

机译：①微精密加工技术Maruyoshi机械I /铃木PRECION：机械和人的技能和协作 - 高附加值的加工，以“挑战力”培养

机译：机械密封件表面纹理化的多相微磨料喷射加工技术

机译：微化学工艺发展中的技术融合关于化学技术与机械微加工技术的融合

机译：用于微致动器和微器件的TiNi薄膜：溅射沉积和加工技术

机译：用于微和纳米机械谐振器的氮化铝薄膜的表征

机译：飞秒激光多焦点并行微加工技术将三维功能微器件高效集成到微流控芯片中

机译：使用利用组合体/表面微机械加工技术制造的热机械测试芯片对多晶硅悬臂的机械表征

机译：用于形状记忆薄膜的微致动器的新机械表征方法。

机译：控制器采用微机械技术，控制器，控制系统，微镜系统，以及使用微型加工技术的执行器控制方法，以及执行器

机译：用于肉类或蔬菜食品，动物饲料和食品生产或其他加工技术的机器和设备的消毒方法，以及用于此方法的植物的消毒和灭菌方法肉类或蔬菜产品，食品和动物饲料以及作为食品生产或其他食品加工技术的机械设备，

机译：光学机械微器件和使用该光学机械微器件的光学机械微偏转器