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PSII的计算机监控系统

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为了实现装置工艺参数的可重复性，并有效掏设备运行过程中由射频源、微波源、金属源和高压脉冲电源产生的种种上电磁干扰对设备性能及人身安全的影响，开发了一套计算机控制系统以负责对设备的远程监控，该系统由一台康拓KT8500工控机及一些接口板组成，具有实时性强、操作方便、抗干扰能力强等特点，并具有友好的Windows95人机交互界面。测试表明，该系统安全、可靠，是一种较为理想的经济柔性控制系统。

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来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|264-270|共7页
会议地点成都
作者
陈庆川; 霍岩峰; 冯铁民; 崔西蓉; 耿漫;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类掺杂;
关键词
等离子体浸没; 离子注入; 计算机控制;

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