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电子束双偏转扫描系统的设计

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与透镜后偏转系统相比较，透镜前双偏转系统具有可采用较小的工作距离和容易实现电子束垂直着靶等优点，而且通过在两偏转线圈之间设置一个转角可以降低复合磁聚焦偏转系统象差。该文对系统的结构和电气参数对电子光学特性的影响进行了计算机模拟，从中找出了最佳的工作参数，并提出了一种能较好地满足计算精度要求的偏转器结构设计。

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来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|68-72|共5页
会议地点成都
作者
康念坎; 王理明; 张福安;
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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子束发射系统;
关键词
电子束; 双偏转器; 偏转象差;

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