首页> 中文会议>'99全国荷电粒子源粒子束学术会议 >等离子体浸没离子注入(PIII)技术在现代材料表面改性中的应用及发展

等离子体浸没离子注入(PIII)技术在现代材料表面改性中的应用及发展

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

该文综述了80年代发展起来的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术－等离子体浸没离子注入(PIII)，待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CBII)技术的主要特点，还具有许多独特的优点。将系统介绍该技术在现代材料表面改性中的各方面应用及发展。

著录项

来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|209-214|共6页
会议地点成都
作者
赵青; 耿漫;
展开▼
作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类掺杂;
关键词
等离子体浸没; 离子注入; 材料表面改性;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 等离子体浸没离子注入（PⅢ）技术在现代材料表面改性中的应用及发展 [J] . 赵青 ,耿漫 . 核工业西南物理研究院年报 . 2000,第001期
2. 等离子体浸没离子注入(PⅢ)在材料表面改性中的应用及发展 [J] . 陈惠敏 . 表面技术 . 2008,第5期
3. 用于现代材料表面强化的多功能等离子体浸没离子注入装置 [J] . . 表面工程资讯 . 2004,第003期
4. 等离子体浸没离子注入技术的应用与发展趋势 [J] . 田修波 ,杨士勤 . 金属加工：热加工 . 2004,第009期
5. 浅谈等离子体浸没离子注入技术及其应用 [J] . 黄琼俭 ,周永福 ,汪小利 . 中小企业管理与科技 . 2014,第024期
6. 外磁场对等离子体浸没离子注入绝缘材料表面改性技术的影响 [C] . 田立成 ,石红 ,张天平 . 第三届空间材料及其应用技术学术交流会 . 2011
7. 等离子体浸没离子注入对ITO的表面改性及功函数变化机理研究 [A] . 何龙 . 2013

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号