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陈俊芳; 吴先球; 王德秋; 任兆杏;
中国力学学会;
中国核学会;
ECR-PECVD薄膜; 等离子体密度; 空间分布; 沉积工艺;
机译:Mo-Cu阴极组成对DC电弧合成中工艺稳定性,大颗粒形成,等离子体产生和薄膜沉积的影响
机译:基于顺序模型的实验设计,用于使用化学气相沉积工艺进行薄膜沉积数学模型的实验
机译:磁铜合金薄膜沉积过程中基板温度的影响通过磁控耦合对蓄电工艺
机译:磁控溅射工艺优化太阳能光伏电池薄膜沉积工艺参数
机译:使用ECR-PECVD的氢化非晶硅锗薄膜和器件的高生长速率沉积。
机译:关于通过ECR-PECVD生长的SRSO:Er3 +薄膜的发射和热猝灭的起源
机译:通过施加大气压燃烧化学气相沉积工艺,钴和锰羧酸盐用于金属氧化物薄膜沉积
机译:用于低成本太阳能电池应用的薄膜沉积的激光加热CVD(化学气相沉积)工艺:最终转包报告,1984年2月1日至1987年2月28日
机译:制造太阳能电池的薄膜沉积工艺模块,制造太阳能电池的薄膜沉积工艺系统以及薄膜沉积工艺模块的清洁方法
机译:薄膜沉积工艺和装置,用于薄膜沉积工艺的FTIR气体分析仪以及用于薄膜沉积工艺的混合气体供应装置
机译:薄膜沉积工艺和装置,在薄膜沉积工艺中使用的红外气体分析仪以及在薄膜沉积工艺中使用的混合气体供应装置
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