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椭偏仪测厚法的数值计算

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该文提供一个实用的由椭偏参数求解薄膜厚度和折射率的计算程序。用复数乘除法子程序解决复数的乘除法运算；用差商代替解方程时需作的求导运算；大大简化了程序的编制工作。并通过在迭代公式中引入收敛因子解决了某些情况下的收敛域过小的问题。

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来源
《'98年全国高等工科院校物理教育学术研讨会》|1998年|58-60|共3页
会议地点黄山
作者
浦天舒;
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作者单位

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类数学物理方法;数值分析;
关键词
椭偏参数; 薄膜厚度; 复数折射率; 牛顿迭代法; 收敛因子;

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