基于Labview技术的消光式椭偏测厚仪的研究与设计

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• 来源
  《传感技术学报》 |2006年第2期|432-435|共4页
• 作者

  张诚; 王金海; 陈才和; 张波; 岳泉;

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• 作者单位

  天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160;

  天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津大学,精密仪器与光电子工程学院,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300072;

  天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160;

  天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 自动控制、自动控制系统;
• 关键词

  椭偏仪; 消光法; 虚拟仪器; Labview;