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ECR微波等离子体氮化铁基材料的参数研究

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该文以纯铁和38CrMoA1为例给出了用电子回旋共振微波等离了体氮化的实验结果，结果指出即使在10<'-1>Pa的工作气压下，采用N<,2>-H<,2>混合气体，仍然可在样品表面形成氮化层，使样品表面硬度显著提高，而且氮化速率要比以往报道的好的多。同时还给出改变N<,2>和H<,2>比例时对样品表层氮化铁相形成的影响。

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来源
《中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会》|1998年|308-312|共5页
会议地点成都
作者
王存勇; 詹如娟;
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作者单位

中国核学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属复层保护;
关键词
氮化铁基材料; 电子回旋共振微波; 等离子体氮化;

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