ECR微波等离子体氮化铁基材料的参数研究

王存勇; 温晓辉; 朱晓东; 詹如娟

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ECR微波等离子体氮化铁基材料的参数研究

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以纯铁和 38CrMoAl为例给出了用电子回旋共振微波等离子体氮化的实验结果 ,并给出了气体成分及配比、时间、温度、偏压等工艺参数对氮化结果的影响。指出在 0 1Pa的工作气压下 ,采用N2 H2混合气体 ,样品温度接近 50 0℃ ,微波功率 2 0 0～ 2 50W ,可在样品表面形成氮化层 ,使样品表面硬度显著提高。改变N2 和H2 比例将改变样品氮化层中ε相和γ′相的比例。

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来源
《真空科学与技术学报》 |1999年第5期|379-383|共5页
作者
王存勇; 温晓辉; 朱晓东; 詹如娟;
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作者单位

中国科学院结构分析开放实验室;

中国科学技术大学近代物理系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TG161.82;
关键词
电子回旋共振; 微波等离子体; 氮化; 铁基材料;

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