ECR微波等离子体源离子渗氮

机译：用于等离子体浸没离子注入和沉积工艺的微波ECR等离子体源的改进

机译：在高真空条件下通过微波ECR等离子体源离子注入同步增强的磁控溅射沉积在金属基板上合成陶瓷膜

机译：高氮f.c.c的抗点蚀性能等离子体源离子渗氮奥氏体不锈钢中的相

机译：具有热离子气体等离子体源的系统中钢的离子渗氮

机译：等离子体离子渗氮法镍合金渗氮硬化机理的基础研究

机译：微波等离子体化学气相沉积掺氮钻石。 II：CH4 / N2 / H2等离子

机译：ECR负离子源的开发-氩气添加对ECR等离子体的影响

机译：新型微波ECR multiusp等离子体离子源的潜在应用。

机译：微波电子回旋加速器电子共振（ECR）离子源，具有大，均匀分布，轴向对称的ECR等离子体体积

机译：耦合微波ECR和射频等离子体源进行等离子体处理

机译：用于离子束图形和注入的小锥型微波ECR等离子体源