ECR微波等离子体源离子输运的蒙特卡罗模拟

机译：用于等离子体浸没离子注入和沉积工艺的微波ECR等离子体源的改进

机译：在高真空条件下通过微波ECR等离子体源离子注入同步增强的磁控溅射沉积在金属基板上合成陶瓷膜

机译：负偏压ECR微波等离子体中离子迁移过程的蒙特卡罗模拟

机译：微波ECR等离子体源增强的RF反应磁控溅射沉积用于电绝缘应用的致密SiO2薄膜

机译：设计用于材料加工的紧凑型ECR等离子体源的表征和建模。

机译：基于等离子体的CH4转换为更高的碳氢化合物和氢气：揭示反应机理的模型不同等离子体源

机译：微型电感耦合等离子体源的二维单元粒子蒙特卡罗模拟

机译：ORNL（橡树岭国家实验室）ECR（电子回旋共振）多极等离子体源的特征。

机译：用于离子束图形和注入的小锥型微波ECR等离子体源

机译：用于处理和注入离子束的小锥型微波ECR等离子体源

机译：耦合微波ECR和射频等离子体源进行等离子体处理