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电子束蒸镀Y<,2>O<,3>-ZrO<,2>减反射膜用于1．3μm半导体激光器

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用DMP-450型电子束镀膜机，制备了Y<,2>O<,3>-ZrO<,2>膜，并用它作为1.3μm半导体激光器的减反射膜，测试结果表明，镀膜后的管子其外微分量子效率明显提高，并线性性有改善。

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来源
《第六届全国固体薄膜学术会议》|1998年|253-258|共6页
会议地点成都
作者
王浙辉;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
半导体激光器;

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