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a-SiC<,x>N<,y>:H薄膜光学测试

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摘要

对室温下利用射频反应溅射技术制备的氢化非晶硅碳氮薄膜（a-SiC<,x>N<,y>:H）进行了傅立叶变换红外反素外-可见-近红外光学测试，发现由于薄膜中同时存在碳、氮元素，薄膜结构和特性明显地受薄膜组份的调制，高氮含量薄膜无规网络因C≡N键的存在而得到软化，高温（800℃

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来源
《第六届全国固体薄膜学术会议》|1998年|147-149|共3页
会议地点成都
作者
吴现成;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类材料;
关键词
反应溅射;

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