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闵靖; 邹子英; 姚保纲; 李积和; 陈一;
中国有色金属学会;
增强吸杂硅外延片; 检测; 延片;
机译:硅中吸杂机理的研究:磷扩散吸杂与其他吸杂位之间的竞争性吸杂
机译:工程金属沉淀物尺寸分布,以增强多晶硅中的吸杂
机译:锗分子离子注入下硅中增强的吸杂作用的观察
机译:硅中吸杂机制的研究:磷扩散吸杂与其他吸杂位之间的竞争性吸杂
机译:晶体硅的铝吸杂剂可改善少数载流子扩散长度并用于基本扩散机理的研究。
机译:使用牺牲多孔硅层的多晶硅磷扩散吸杂工艺
机译:低温下多晶硅中杂质的增强的磷吸杂
机译:硅中注入诱导空穴吸杂与siO {sub 2}沉淀相关的内部吸杂之间的竞争
机译:硅外延片和硅外延片杂质吸收能力的评估方法
机译:硅外延片的制造方法,硅外延片和固态成像装置的制造方法
机译:生产硅外延片的方法及硅外延片
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