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椭偏光谱测量中模型的任意性与合理性

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椭偏光谱测量结果不能直接反映所测量样品材料的结构和先学性质，需要利用最小二乘法来拟合分析椭偏光谱数据，而且椭偏光谱数据的分析依赖于模型。由于样品材料可能存在多种不同的模型，对应椭偏光谱分析的结果就存在多解的问题，文中以硅衬底上二氧化硅膜的简单样品作例子，说明椭偏光谱的分析在可以明确剔除一些模型结果的前提下，仍然可能存在多种合理的模型结果，但是这些结果可以从物理意义上统一起来。

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来源
《中国光学学会全息与光信息处理专业委员会'98学术年会》|1998年|156-161|共6页
会议地点成都
作者
郭文胜; 朱丹; 刘志宏; 朱自强;
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作者单位

中国光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜测量与分析;光谱测量;
关键词
椭偏法; 椭偏光谱仪; 模型; 最小二乘法; Levenberg-Marquardt算法;

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