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薄膜晶体管中绝缘层的研究现状与趋势

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本文主要介绍了绝缘层在薄膜晶体管中的重要作用,总结了在薄膜晶体管中应用的绝缘层材料种类及其特点,介绍了不同绝缘层的制备工艺及其原理.最后,通过分析近几年有关薄膜晶体管绝缘层的文献,介绍了薄膜晶体管在制备过程中遇到的主要问题及当前的研究热点,并对未来薄膜晶体管中绝缘层制备工艺和绝缘材料的研究方向进行了展望.

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来源
《2014中国平板显示学术会议》|2014年|2-4|共3页
会议地点南京
作者
王东平; 谢应涛; 欧阳世宏; 谭特; 方汉铿;
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作者单位

中国光学学会电子行业协会液晶分会;

中国物理学会液晶分会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN321.5;
关键词
薄膜晶体管; 绝缘层; 材料性能; 制备工艺;

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