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NaCl基片上制备BiFeO3模板膜工艺参数探讨

摘要

BiFeO3(BFO)作为一种理想的无铅多铁材料,因其优异的铁电、压电以及铁磁性能,有望在未来的微机电系统中替代Pb(Zr,Ti)O3而得到广泛的应用.采用溶胶-凝胶法,层层退火工艺,在可溶性NaCl基片上制备出无杂相且结晶较好的BFO模板膜.并对制备BFO模板膜的最佳工艺参数进行了深入探讨:当前躯体溶液浓度为0.3mol/L,匀胶速度为4000r/min,退火温度为500℃时,所制备的BFO模板膜无杂相,晶粒大小均匀致密呈球状,平均晶粒尺寸约为40nm,模板膜厚度为80μm左右.通过对BFO模板膜制备工艺的研究,以期利用BFO模板膜的诱导作用,制备出织构化的BFO陶瓷材料。将在NaCI基片上制得的BFO模板膜压入相同溶液制备的BFO铁电粉体中,类比本课题组CSBT陶瓷块体的制备工艺,在BFO模板膜的诱导作用下制得织构化的BFO铁电陶瓷。

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