掌桥科研
一站式科研服务平台
科技查新
收录引用
专题文献检索
外文数据库(机构版)
更多产品
首页
成为会员
我要充值
退出
我的积分:
中文会员
开通
中文文献批量获取
外文会员
开通
外文文献批量获取
我的订单
会员中心
我的包量
我的余额
登录/注册
文献导航
中文期刊
>
中文会议
>
中文学位
>
中国专利
>
外文期刊
>
外文会议
>
外文学位
>
外国专利
>
外文OA文献
>
外文科技报告
>
中文图书
>
外文图书
>
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
工业技术
基础科学
医药卫生
农业科学
教科文艺
经济财政
社会科学
哲学政法
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
自然科学总论
数学、物理、化学、力学
天文学、地球科学
生物科技
医学、药学、卫生
航空航天、军事
农林牧渔
机械、仪表工业
化工、能源
冶金矿业
电子学、通信
计算机、自动化
土木、建筑、水利
交通运输
轻工业技术
材料科学
电工技术
一般工业技术
环境科学、安全科学
图书馆学、情报学
社会科学
其他
美国国防部AD报告
美国能源部DE报告
美国航空航天局NASA报告
美国商务部PB报告
外军国防科技报告
美国国防部
美国参联会主席指示
美国海军
美国空军
美国陆军
美国海军陆战队
美国国防技术信息中心(DTIC)
美军标
美国航空航天局(NASA)
战略与国际研究中心
美国国土安全数字图书馆
美国科学研究出版社
兰德公司
美国政府问责局
香港科技大学图书馆
美国海军研究生院图书馆
OALIB数据库
在线学术档案数据库
数字空间系统
剑桥大学机构知识库
欧洲核子研究中心机构库
美国密西根大学论文库
美国政府出版局(GPO)
加利福尼亚大学数字图书馆
美国国家学术出版社
美国国防大学出版社
美国能源部文献库
美国国防高级研究计划局
美国陆军协会
美国陆军研究实验室
英国空军
美国国家科学基金会
美国战略与国际研究中心-导弹威胁网
美国科学与国际安全研究所
法国国际关系战略研究院
法国国际关系研究所
国际宇航联合会
美国防务日报
国会研究处
美国海运司令部
北约
盟军快速反应部队
北约浅水行动卓越中心
北约盟军地面部队司令部
北约通信信息局
北约稳定政策卓越中心
美国国会研究服务处
美国国防预算办公室
美国陆军技术手册
一般OA
科技期刊论文
科技会议论文
图书
科技报告
科技专著
标准
其它
美国卫生研究院文献
分子生物学
神经科学
药学
外科
临床神经病学
肿瘤学
细胞生物学
遗传学
公共卫生&环境&职业病
应用微生物学
全科医学
免疫学
动物学
精神病学
兽医学
心血管
放射&核医学&医学影像学
儿科
医学进展
微生物学
护理学
生物学
牙科&口腔外科
毒理学
生理学
医院管理
妇产科学
病理学
生化技术
胃肠&肝脏病学
运动科学
心理学
营养学
血液学
泌尿科学&肾病学
生物医学工程
感染病
生物物理学
矫形
外周血管病
药物化学
皮肤病学
康复学
眼科学
行为科学
呼吸学
进化生物学
老年医学
耳鼻喉科学
发育生物学
寄生虫学
病毒学
医学实验室检查技术
生殖生物学
风湿病学
麻醉学
危重病护理
生物材料
移植
医学情报
其他学科
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
人类生活必需品
作业;运输
化学;冶金
纺织;造纸
固定建筑物
机械工程;照明;加热;武器;爆破
物理
电学
马克思主义、列宁主义、毛泽东思想、邓小平理论
哲学、宗教
社会科学总论
政治、法律
军事
经济
文化、科学、教育、体育
语言、文字
文学
艺术
历史、地理
自然科学总论
数理科学和化学
天文学、地球科学
生物科学
医药、卫生
农业科学
工业技术
交通运输
航空、航天
环境科学、安全科学
综合性图书
主题
主题
题名
作者
关键词
摘要
高级搜索 >
外文期刊
外文会议
外文学位
外国专利
外文图书
外文OA文献
中文期刊
中文会议
中文学位
中国专利
中文图书
外文科技报告
清除
历史搜索
清空历史
首页
>
外文会议
>
电子学、通信
>
Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US
Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US
召开年:
召开地:
出版时间:
-
会议文集:
-
会议论文
热门论文
全部论文
相关中文期刊
通信与计算技术
现代电视技术
信息产业报道
电气电子教学学报
视听技术
天津通信技术
雷达与对抗
世界广播电视
电信技术研究
数字通信世界
更多>>
相关外文期刊
Cognitive Computation and Systems
Journal of Electronic Science and Technology of China
Via satellite
IEEE Transactions on Signal Processing
IEEE/ACM Transactions on Networking
International journal of industrial electronics and drives
IEE Proceedings. Part J
Pervasive Computing, IEEE
IETE Technical Review
IEEE journal of selected topics in quantum electronics
更多>>
相关中文会议
第八届全国遥感遥测遥控学术研讨会
第20届全国电磁兼容学术会议
第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议
2013春季国际PCB技术/信息论坛
第二届高品质射频电缆及组件技术研讨会暨中电元协光电线缆分会第九次专家组会议
第六届全国消费电子技术交流会
第五届全国消费电子技术交流会
第十二届全国青年通信学术会议
2000年全国微波测量会议
2002年全国建设事业IC卡应用模式和技术发展研讨会
更多>>
相关外文会议
Vertical-Cavity surface-emitting lasers XX
Wavelets XII pt.2; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6701 pt.2
18th International OFDM Workshop 2014
Conference on Free-Space Laser Communication Technologies; 20080124; San Jose,CA(US)
Multiple access communications
Quantum Dots, Particles, and Nanoclusters IV; Proceedings of SPIE-The International Society for Optical Engineering; vol.6481
Conference on Audio Forensics
Digital Image Processing and Visual Communications Technologies in the Earth and Atmospheric Sciences II
3rd international universal communications symposium 2009
Lidar technologies, techniques, and measurements for atmospheric remote sensing V
更多>>
热门会议
Meeting of the internet engineering task force;IETF
日本建築学会;日本建築学会大会
日本建築学会(Architectural Institute of Japan);日本建築学会年度大会
日本建築学会学術講演会;日本建築学会
日本建築学会2010年度大会(北陸)
Korean Society of Noise & Vibration Control;Institute of Noise Control Engineering;International congress and exposition on noise control engineering;ASME Noise Control & Acoustics Division
土木学会;土木学会全国大会年次学術講演会
応用物理学会秋季学術講演会;応用物理学会
総合大会;電子情報通信学会
The 4th International Conference on Wireless Communications, Networking and Mobile Computing(第四届IEEE无线通信、网络技术及移动计算国际会议)论文集
更多>>
最新会议
2011 IEEE Cool Chips XIV
International workshop on Java technologies for real-time and embedded systems
Supercomputing '88. [Vol.1]. Proceedings.
RILEM Proceedings PRO 40; International RILEM Conference on the Use of Recycled Materials in Buildings and Structures vol.1; 20041108-11; Barcelona(ES)
International Workshop on Hybrid Metaheuristics(HM 2007); 20071008-09; Dortmund(DE)
The 57th ARFTG(Automatic RF Techniques Group) Conference, May 25, 2001, Phoenix, AZ
Real Time Systems Symposium, 1989., Proceedings.
Conference on Chemical and Biological Sensing V; 20040412-20040413; Orlando,FL; US
American Filtration and Separations Society conference
Combined structures congress;North American steel construction conference;NASCC
更多>>
全选(
0
)
清除
导出
1.
Subcritical Delamination of Dielectric and Metal Films from Low-k Organosilicate Glass (OSG) Thin Films in Buffered pH Solutions
机译:
低k有机硅玻璃(OSG)薄膜在缓冲pH溶液中的电介质和金属膜的亚临界分层
作者:
Y. Lin
;
J.J. Vlassak
;
T.Y. Tsui
;
A.J. McKerrow
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
2.
Thickness Dependent Stress Relaxation with the Onset of L1_0 Ordering in FePt Thin Films
机译:
FePt薄膜中依赖于L1_0有序性的厚度相关应力松弛
作者:
K. W. Wierman
;
C. L. Platt
;
J. K. Howard
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
3.
Thermomechanical Behavior of Tantalum Thin Films: The Effects of Oxygen and the β-α Phase Transformation
机译:
钽薄膜的热力学行为:氧和β-α相变的影响
作者:
Robert Knepper
;
Blake Stevens
;
Shefford P. Baker
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
4.
OPTIMIZATION OF FILM STRESSES UTILIZED IN COMPOSITE PIEZOELECTRIC MEMBRANE MICROGENERATORS
机译:
复合压电膜微粉碎机中膜应力的优化
作者:
M.S. Kennedy
;
M. Zosel
;
C.D. Richards
;
R.F. Richards
;
D.F. Bahr
;
K.W. Hipps
;
N.R. Moody
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
5.
PROBING STRAIN FIELDS ABOUT THIN FILM STRUCTURES USING X-RAY MICRODIFFRACTION
机译:
使用X射线微衍射研究薄膜结构的应变场
作者:
C.E. Murray
;
I.C. Noyan
;
P.M. Mooney
;
B. Lai
;
Z. Cai
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
6.
Resistance to cracking of a stretchable semiconductor: Speed of crack propagation for varying energy release rate
机译:
可拉伸半导体的抗裂性:能量释放速率不同时,裂纹扩展的速度
作者:
Sheng Liu
;
Hee C. Lim
;
Min Qu
;
John F. Federici
;
Gordon A. Thomas
;
Helena Gleskova
;
Sigurd Wagner
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
7.
Stress and Defect Generation in Si Epitaxy
机译:
Si外延中的应力和缺陷产生
作者:
Tien Wang
;
Douglas Carlson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
8.
Effects of Process Parameters on the Adhesion of Copper Film on Polyethylene Tetrephthalate(Pet) Substrate Prepared by ECRMOCVD Coupled with a Periodic DC Bias
机译:
工艺参数对铜膜在ECRMOCVD耦合周期性直流偏置下制备的聚对苯二甲酸乙二酯(Pet)基板上铜膜附着力的影响
作者:
Jin Hyun
;
Bup Ju Jeon
;
Dongjin Byun
;
Joong Kee Lee
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
9.
Guided Formation of Nanostructures in Thin Films
机译:
薄膜中纳米结构的引导形成
作者:
Wei Lu
;
Dongchoul Kim
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
10.
In situ investigation of growth of gold on crystalline TiO_2 and amorphous Al_2O_3 substrates
机译:
原位研究金在晶体TiO_2和非晶Al_2O_3衬底上的生长
作者:
L. Lauter
;
R. Abermann
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
11.
Interdiffusion in Coherent Si_(0.90)Ge_(0.10)/Si_(0.95)Ge_(0.05) Superlattices
机译:
相干Si_(0.90)Ge_(0.10)/ Si_(0.95)Ge_(0.05)超晶格的互扩散
作者:
D. B. Aubertine
;
P.C. McIntyre
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
12.
Irreversible Tensile Stress Development in PECVD Silicon Nitride Films
机译:
PECVD氮化硅薄膜中不可逆的拉伸应力发展
作者:
Michael P. Hughey
;
Robert F. Cook
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
13.
Microstructure and Current Transport Properties of YBa_2Cu_3O_(7-x)/(Ba_(0.05), Sr_(0.95))TiO_3 Multiple-Layer Thin Films
机译:
YBa_2Cu_3O_(7-x)/(Ba_(0.05),Sr_(0.95))TiO_3多层薄膜的微结构和电流传输性质
作者:
Y. Luo
;
R. A. Hughes
;
J. S. Preston
;
G. A. Botton
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
14.
Microstructural aspects of fracture in nanolayered TiAlCrN thin films
机译:
纳米TiAlCrN薄膜断裂的微观结构
作者:
A. E. Santana
;
A. Karimi
;
V.H. Derflinger
;
A. Schutze
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
15.
Microstructure - Mechanical Properties Relationship of Laser Interference Irradiated Ni/Al Multi-Film
机译:
激光干涉辐照Ni / Al多膜的显微组织-力学性能关系
作者:
C. Daniel
;
A. Lasagni
;
F. Muecklich
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
16.
Mechanical Properties and Morphology of Polycrystalline 3C-SiC Films Deposited on Si and SiO_2 by LPCVD
机译:
LPCVD法沉积在Si和SiO_2上的多晶3C-SiC薄膜的力学性能和形貌
作者:
Xiao-an Fu
;
Jeremy Dunning
;
Srihari Rajgopal
;
Ming Zhang
;
Christian A. Zorman
;
Mehran Mehregany
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
17.
Determination of Residual-Stress-Free State and Mapping of Residual Stress Fields Using Speckle Interferometry and Thermal Relaxation
机译:
使用散斑干涉法和热弛豫确定无应力状态并绘制残余应力场
作者:
Dong-Won Kim
;
Jong-jin Kim
;
Dongil Son
;
Nak-Kyu Lee
;
Kyung-Hoan Na
;
Dongil Kwon
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
18.
Determination of mechanical parameters for rotating MEMS structures as a function of deposition method
机译:
根据沉积方法确定旋转MEMS结构的机械参数
作者:
S. Soare
;
S. J. Bull
;
A. Oila
;
A.G. ONeill
;
N. Wright
;
A. Horsfall
;
J. dos Santos
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
19.
Dislocation Image Stresses at Free Surfaces by the Finite Element Method
机译:
自由表面位错图像应力的有限元方法
作者:
Meijie Tang
;
Guanshui Xu
;
Wei Cai
;
Vasily Bulatov
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
20.
Dislocation Dynamics in Semiconductor Thin Film-Substrate Systems
机译:
半导体薄膜-基板系统中的位错动力学
作者:
E.H. Tan
;
L.Z. Sun
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
21.
Early yielding and stress recovery in (111) and (100) texture components in Cu thin films determined using synchrotron x-ray diffraction
机译:
使用同步加速器X射线衍射测定的Cu薄膜中(111)和(100)织构成分的早期屈服和应力恢复
作者:
D.E. Nowak
;
S.P. Baker
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
22.
Effect of Dielectric Materials on Stress-Induced Damage Modes in Damascene Cu Lines
机译:
介电材料对镶嵌铜线应力诱导损伤模式的影响
作者:
Jong-Min Paik
;
Hyun Park
;
Ki-Chul Park
;
Young-Chang Joo
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
23.
Evaluation on Stress and Optical Property of Thin Films Used in Optical MEMS Device
机译:
光学MEMS器件薄膜的应力和光学性能评估。
作者:
Lianchao Sun
;
Ping Hou
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
24.
Mechanical strain evolution in Cu/low K interconnect lines
机译:
Cu /低K互连线中的机械应变演变
作者:
Paul R. Besser
;
Qing-Ting Jiang
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
25.
Computational and Experimental Characterization of Indentation Creep
机译:
压痕蠕变的计算和实验表征
作者:
Ming Dao
;
Hidenari Takagi
;
Masami Fujiwara
;
Masahisa Otsuka
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
26.
Bulge Test on Free Standing Gold Thin Films
机译:
独立式金膜的膨胀测试
作者:
Yawen Li
;
Michael J. Cima
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
27.
Cracking and Phase Transformation in Silicon During Nanoindentation
机译:
纳米压痕过程中硅的开裂和相变
作者:
Jae-il Jang
;
Songqing Wen
;
M.J. Lance
;
I.M. Anderson
;
G.M. Pharr
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
28.
A Membrane Deflection Fracture Experiment to Investigate Fracture Toughness of Freestanding MEMS Materials
机译:
膜挠曲断裂实验研究独立式MEMS材料的断裂韧性
作者:
H.D. Espinosa
;
B. Peng
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
29.
A Study on Selective Etching of SiGe Layers in SiGe/Si Systems for Device Applications
机译:
用于器件的SiGe / Si系统中的SiGe层的选择性刻蚀研究
作者:
Takashi Yamazaki
;
Tomohide Sekikawa
;
Shinya Morita
;
Yoshitaka Hakamada
;
Hiroyuki Ohri
;
Shun-ichiro Ohmi
;
Tetsushi Sakai
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
30.
Young's Modulus, Poisson's Ratio, and Nanoscale Deformation Fields of MEMS Materials
机译:
MEMS材料的杨氏模量,泊松比和纳米级形变场
作者:
I. Chasiotis
;
S.W. Cho
;
T.A. Friedmann
;
J.P. Sullivan
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
31.
Thermo-mechanical behavior of Fe thin films
机译:
Fe薄膜的热机械行为
作者:
Nail R. Chamsoutdinov
;
Amarante J. Boettger
;
Rob Delhez
;
Frans D. Tichelaar
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
32.
Use of the curvature method to determine the misfit stress of epitaxial semiconducting systems: the case of samples thinned for TEM observation
机译:
使用曲率方法确定外延半导体系统的失配应力:以TEM观察为样本变薄的情况
作者:
A. Ponchet
;
M. Cabie
;
L. Durand
;
M. Rivoal
;
A. Rocher
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
33.
Stress Relaxation during Isothermal Annealing at Elevated Temperatures in Electroplated Cu Films
机译:
电镀铜膜在高温下等温退火过程中的应力松弛
作者:
Soo-Jung Hwang
;
Young-Chang Joo
;
Junichi Koike
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
34.
Stress-field in Sputtered Mo Thin Films and Mo/Ni Superlattices: Origin and Evolution after Ion-Irradiation
机译:
溅射钼薄膜和钼/镍超晶格中的应力场:离子辐照后的起源和演变。
作者:
A. Debelle
;
G. Abadias
;
A. Michel
;
C. Jaouen
;
Ph. Guerin
;
M. Drouet
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
35.
Understanding adhesion failure in low-k dielectric stack during Chemical-Mechanical Polishing
机译:
了解化学机械抛光过程中低k介电堆栈中的粘附失败
作者:
F. Iacopi
;
D. Degryse
;
I. Vos
;
M.Patz
;
K.Maex
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
36.
Tuning the Mechanical Properties of SiO_2 Thin Film for MEMS Application
机译:
调整MEMS应用SiO_2薄膜的力学性能。
作者:
Wang-Shen Su
;
Weileun Fang
;
Ming-Shih Tsai
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
37.
Phase Field Modeling of Surface Instabilities Induced by Stresses
机译:
应力引起的表面不稳定性的相场建模
作者:
D. J. Seol
;
S. Y. Hu
;
Z. K. Liu
;
S. G Kim
;
W. T. Kim
;
K. H. Oh
;
L. Q. Chen
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
38.
Stress-assisted Copper-induced Lateral Growth of Polycrystalline Germanium
机译:
应力辅助铜诱导的多晶锗横向生长
作者:
B. Hekmatshoar
;
D. Shahrjerdi
;
S. Mohajerzadeh
;
A. Khakifirooz
;
M. Robertson
;
A. Afzali-Kusha
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
39.
Stress and texture in sputter deposited Cr films
机译:
溅射沉积Cr膜的应力和织构
作者:
S.Yu. Grachev
;
J.-D. Kamminga
;
G.C.A.M. Janssen
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
40.
SOLUTIONS AND DISCUSSIONS OF THIN FILM UNDERGOING THE NONLINEAR PEELING
机译:
薄膜经历非线性剥离的解决方案和讨论
作者:
Yueguang Wei
;
Siqi Shu
;
Ying Du
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
41.
THE EFFECT OF OXYGEN ON ADHESION OF THIN COPPER FILMS TO SILICON NITRIDE
机译:
氧气对铜薄膜对氮化硅的粘附作用
作者:
Mengzhi Pang
;
Monika Backhaus-Ricoult
;
Shefford P. Baker
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
42.
Temperature Dependence of Biaxial Modulus and Thermal Expansion Coefficient of Thin Films Using Wafer Curvature Method
机译:
晶片曲率法测量薄膜双轴模量与温度的关系
作者:
M. Capanu
;
A. Cervin-Lawry
;
A. Patel
;
I. Koutsaroff
;
P. Woo
;
Lynda Wu
;
J. Oh
;
J. Obeng
;
B. McClelland
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
43.
Young's Modulus Variation with Thickness of Thin Films
机译:
薄膜厚度的杨氏模量变化
作者:
L. G. Zhou
;
Hanchen Huang
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
44.
X-ray Microbeam Diffraction Measurements on Polycrystalline Aluminum and Copper Thin Films
机译:
多晶铝和铜薄膜上的X射线微束衍射测量
作者:
L. E. Moyer
;
G. S. Cargill III
;
W. Yang
;
B. C. Larson
;
G. E. Ice
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
45.
Thin Film Material Parameters Derived from Full Field Nanometric Displacement Measurements in Non-uniform MEMS Geometries
机译:
从非均匀MEMS几何中的全场纳米位移测量得出的薄膜材料参数
作者:
Jaime F. Cdrdenas-Garcia
;
Sungwoo Cho
;
Ioannis Chasiotis
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
46.
Thermal-Mechanical Evaluation of Plated Electro-Magnetic NiFe for MEMS Generators
机译:
用于MEMS发生器的电镀电磁NiFe的热机械评估
作者:
Yibin Xue
;
Keithan Hillman
;
David Veazie
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
47.
Toughness and Contact Behavior of Conventional and Low-k Dielectric Thin Films
机译:
常规和低介电常数薄膜的韧性和接触行为
作者:
Robert F. Cook
;
Dylan J. Morris
;
Jeremy Thurn
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
48.
The Thermal Annealing Effect On The Residual Stress And Interface Adhesion In The Compressive Stressed DLC Film
机译:
热退火对压应力DLC薄膜残余应力和界面附着力的影响
作者:
Heon Woong Choi
;
Myoung-Woon Moon
;
Tae-Young Kim
;
Kwang-Ryeol Lee
;
Kyu Hwan Oh
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
关键词:
thermal annealing;
adhesion;
residual stress;
49.
Thermal Stability and Internal Stress for Strongly (111) Oriented Cu Films
机译:
强(111)取向铜膜的热稳定性和内应力
作者:
Sinji Takayama
;
Makato Oikawa
;
Tokuji Himuro
会议名称:
《》
|
2003年
50.
Residual Stress in Silicon Nitride Thin Films Deposited by ECR-PECVD
机译:
ECR-PECVD沉积氮化硅薄膜中的残余应力
作者:
E. Cianci
;
V. Foglietti
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
51.
Strain control in SrRuO_3 thin films by using a lattice constant tunable buffer
机译:
利用晶格常数可调缓冲器控制SrRuO_3薄膜的应变
作者:
K. Terai
;
T. Ohnishi
;
M. Lippmaa
;
H. Koinuma
;
M. Kawasaki
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
52.
Scratch Test Measurements on CrN_x Coatings
机译:
CrN_x涂层的划痕测试测量
作者:
R. Hoy
;
P. van Essen
;
J.-D. Kamminga
;
G.C. A.M. Janssen
;
A.P. Ehiasarian
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
53.
Stress and Strength of free-standing 2-dimensional tetrahedral amorphous carbon bridge arrays
机译:
独立式二维四面体无定形碳桥阵列的应力和强度
作者:
Daniel H.C. Chua
;
T.H. Tsai
;
W.I. Milne
;
D. Sheeja
;
B.K. Tay
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
54.
Single-crystal and Nano-columnar Growth of Gadolinium-doped Ceria Thin Films on Oxide Substrates Studied Using Electron Microscopy
机译:
电子显微镜研究Ox掺杂二氧化铈薄膜在氧化物基底上的单晶和纳米柱生长
作者:
D. X. Huang
;
C. L. Chen
;
A. J. Jacobson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
55.
Stretchable conductors: thin gold films on silicone elastomer
机译:
可拉伸导体:有机硅弹性体上的金薄膜
作者:
Stephanie P. Lacour
;
Sigurd Wagner
;
Z. Suo
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
56.
The effects of passivation layer and film thickness on the mechanical behavior of freestanding electroplated Cu thin films with constant microstructure
机译:
钝化层和膜厚对具有恒定微结构的独立式电镀铜薄膜力学性能的影响
作者:
Yong Xiang
;
Joost J. Vlassak
;
Maria T. Perez-Prado
;
Ting Y. Tsui
;
Andrew J. McKerrow
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
57.
Thin Film Herringbone Buckling Patterns
机译:
薄膜人字形屈曲图案
作者:
Xi Chen
;
John W. Hutchinson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
58.
Nanoindentation Behavior of Gold Single Crystals
机译:
金单晶的纳米压痕行为
作者:
Martha M. McCann
;
Sean G.Corcoran
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
59.
Monotonic Testing and Tension-Tension Fatigue Testing of Free-standing Al Microtensile Beams
机译:
独立式铝微拉伸梁的单调试验和拉伸疲劳试验
作者:
Nicholas Barbosa III
;
Paul El-Deiry
;
Richard P. Vinci
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
60.
Modelling and Optimal Design of Multilayer Cantilever Microactuators
机译:
多层悬臂微执行器的建模与优化设计
作者:
L.H. Han
;
T. J. Lu
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
61.
Effects of Varying Mean Stress and Stress Amplitude on the Fatigue of Polysilicon
机译:
平均应力和应力振幅的变化对多晶硅疲劳的影响
作者:
H. Kahn
;
R. Ballarini
;
A.H. Heuer
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
62.
Fracture Behavior of Micro-Sized Specimens Prepared from a TiAl Thin Foil
机译:
TiAl薄箔制备的微型试样的断裂行为
作者:
K. Takashima
;
T. P. Halford
;
D. Rudinal
;
Y. Higo
;
P. Bowen
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
63.
Fracture patterns in thin films and multilayers
机译:
薄膜和多层中的断裂模式
作者:
Alex A. Volinsky
;
Dirk C. Meyer
;
Tilmann Leisegang
;
Peter Paufler
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
64.
Formability of ultra-thin plasma-polymer films deposited on metal sheet: mesoscopic and nanoscopic aspects of defect formation
机译:
沉积在金属板上的超薄等离子体聚合物薄膜的可成形性:缺陷形成的介观和纳米方面
作者:
B. Baumert
;
M. Stratmann
;
M. Rohwerder
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
65.
INTERNAL OXIDATION AND MECHANICAL PROPERTIES OF Pt-IrO_2 THIN FILMS
机译:
Pt-IrO_2薄膜的内部氧化和力学性能
作者:
Richard R. Chromik
;
Thirumalesh Bannuru
;
Richard P. Vinci
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
66.
Investigation of mechanical properties of mesoporous methyl-substituted SiO_2 thin films (Methylsilesquioxane materials)
机译:
介孔甲基取代的SiO_2薄膜(甲基倍半硅氧烷材料)的力学性能研究
作者:
M.Verdier
;
M.Montagnat
;
S.Maitrejean
;
G.Passemard
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
67.
Hinge Sensitivity in a Micro-Rotating Structure for predicting Induced Thermo Mechanical Stress in Integrated Circuit Metal Interconnects
机译:
微旋转结构中的铰链灵敏度,用于预测集成电路金属互连中的感应热机械应力
作者:
J.M.M. dos Santos
;
K. Wang
;
S.M. Soare
;
S.J.Bull
;
A.B. Horsfall
;
N.G. Wright
;
A.G. ONeill
;
J.G. Terry
;
A.J. Walton
;
A.M. Gundlach
;
J.T.M. Stevenson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
68.
In Situ, Real-Time Curvature Imaging During Chemical Vapor Deposition
机译:
化学气相沉积过程中的原位实时曲率成像
作者:
David A. Boyd
;
Ashok B. Tripathi
;
Mohamed El-Naggar
;
David G. Goodwin
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
69.
Indentation Curve Analysis for Pile-up, Sink-in and Tip-Blunting Effects in Sharp Indentations
机译:
尖锐压痕中堆积,下沉和尖端钝化的压痕曲线分析
作者:
Yeol Choi
;
Baik-Woo Lee
;
Ho-Seung Lee
;
Dongil Kwon
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
70.
Indentation and Finite Element Modelling Investigations of the Indentation Size Effect in Aluminium Coatings on Borosilicate Glass Substrates
机译:
硼硅酸盐玻璃基板上铝涂层的压痕尺寸效应的压痕和有限元建模研究
作者:
I. Spary
;
N.M.Jennett
;
A.J.Bushby
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
71.
Investigation of Structural and Mechanical Properties of UV and Microwave-Irradiated Al_2O_3 / ZrO_2 Multilayers by Sol-Gel Coating
机译:
溶胶-凝胶涂层研究UV和微波辐照的Al_2O_3 / ZrO_2多层膜的结构和力学性能
作者:
A. R. Phani
;
H. Haefke
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
72.
Microstructure Evolution of On-substrate NiTi Shape Memory Alloy Thin Films
机译:
衬底上NiTi形状记忆合金薄膜的微观结构演变
作者:
Xi Wang
;
Ann Lai
;
Joost J. Vlassak
;
Yves Bellouard
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
73.
Direct Observations of Grain Boundary Phenomena during Indentation of Al and Al-Mg Thin Films
机译:
Al和Al-Mg薄膜压痕过程中晶界现象的直接观察
作者:
W.A. Soer
;
J.Th.M. De Hosson
;
A.M. Minor
;
E.A. Stach
;
J.W. Morris
;
Jr.
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
74.
Determining Stress-strain Curves for Thin Films by Experimental/Computational Nanoindentation
机译:
通过实验/计算纳米压痕确定薄膜的应力-应变曲线
作者:
Baik-Woo Lee
;
Yeol Choi
;
Yun-Hee Lee
;
Ju-Young Kim
;
Dongil Kwon
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
75.
Dislocation Nucleation and Segregation in Nano-scale Contact of Stepped Surfaces
机译:
台阶表面纳米尺度接触中的位错成核和偏析
作者:
H.H. Yu
;
P. Shrotriya
;
J. Wang
;
K.-S. Kim
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
76.
DLC/Hydroxyapatite Nanocomposites
机译:
DLC /羟基磷灰石纳米复合材料
作者:
Roger J. Narayan
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
77.
Effect of Monazite Coating on Tensile Properties of Nextel 720 Fibers, Tows and Minicomposites
机译:
独居石涂层对Nextel 720纤维,丝束和微复合材料拉伸性能的影响
作者:
Devdas M. Pai
;
Sergey Yarmolenko
;
Jagannathan Sankar
;
Balasubramanian Kailasshankar
;
Christopher Murphy
;
Edwardo Freeman
;
Larry P. Zawada
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
78.
Effects of the substrate on the determination of hardness of thin films by the nanoscratch and nanoindentation techniques: A comparative study for the cases of soft film on hard substrate and hard film on soft substrate
机译:
基底对纳米划痕和纳米压痕技术测定薄膜硬度的影响:硬基底上的软膜和软基底上的硬膜情况的比较研究
作者:
Noureddine Tayebi
;
Andreas A. Polycarpou
;
Thomas F. Conry
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
79.
Effects of Thickness and Indenter Geometry in Nanoindentation of Nickel Thin Films
机译:
厚度和压头几何形状对镍薄膜纳米压痕的影响
作者:
Padma Parakala
;
Reza A. Mirshams
;
Seifollah Nasrazadani
;
Kun Lian
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
80.
FRACTURE IN THIN OXIDE FILMS
机译:
薄膜氧化物的断裂
作者:
D.F. Bahr
;
A.L. Olson
;
K.R. Morasch
;
M.S. Kennedy
;
D. Rodriguez Marek
;
A. Alamr
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
81.
Experimental Measurements of Surface Residual Stress Caused by Nano-scale Contact of Rough Surfaces
机译:
粗糙表面的纳米尺度接触引起的表面残余应力的实验测量
作者:
J. Wang
;
P. Shrotriya
;
H.H. Yu
;
K.-S. Kim
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
82.
Mechanisms controlling the hardness of Si and Ge
机译:
控制硅和锗硬度的机制
作者:
L.J. Vandeperre
;
F. Giuliani
;
S.J. Lloyd
;
W.J. Clegg
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
83.
Measurement of Thin-Film Stress, Stiffness, and Strength Using an Enhanced Membrane Pressure-Bulge Technique
机译:
使用增强的膜压凸技术测量薄膜应力,刚度和强度
作者:
Aaron J. Chalekian
;
Roxann L. Engelstad
;
Edward G. Lovell
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
84.
Measurement of Residual Stress in ZnO Thin Films Deposited on Silicon Wafers by the Indentation Fracture Test
机译:
用压痕断裂试验测量沉积在硅晶片上的ZnO薄膜中的残余应力
作者:
Tong-Yi Zhang
;
Bin Huang
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
85.
An Atomistic View of Interface-Mediated Dislocation Plasticity in Thin Metal Films
机译:
金属薄膜中介导的位错可塑性的原子观
作者:
E. S. Ege
;
Y.-L. Shen
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
86.
Bonding Characterization of Oxidized PDMS Thin Films
机译:
氧化PDMS薄膜的键合表征
作者:
J.J. McMahon
;
Y. Kwon
;
J.-Q. Lu
;
T.S. Cale
;
R.J. Gutmann
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
87.
Design Maps for the Tensile Yield Strength of Nanoscale Metallic Multilayers
机译:
纳米金属多层膜的拉伸屈服强度设计图
作者:
Adrienne V. Lamm
;
Peter M. Anderson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
88.
A Theoretical Study on the Indentation of Viscoelastic Materials
机译:
粘弹性材料压痕的理论研究
作者:
Guanghui Fu
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
89.
Adhesion Strength of Polymer Coatings studied by Laser Induced Delamination
机译:
激光诱导分层研究聚合物涂层的附着强度
作者:
A. Fedorov
;
A. van Veen
;
R. van Tijum
;
J.Th.M. de Hosson
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
90.
Characterizing Thin-Film Stress Fields by Resonance of Membrane Arrays
机译:
通过膜阵列共振表征薄膜应力场
作者:
R. Engelstad
;
E. Lovell
;
A. Chalekian
;
S. Janowski
;
M. Cash
;
H. Eguchi
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
91.
Asymmetry in Multilayer Adhesion: the Zinc Oxide / Silver Interface
机译:
多层粘合中的不对称性:氧化锌/银界面
作者:
E. Barthel
;
P. Nael
;
O. Kerjan
;
N. Nadaud
会议名称:
《Symposium on Thin Films - Stresses and Mechanical Properties X; 20031201-20031205; Boston,MA; US》
|
2003年
意见反馈
回到顶部
回到首页