首页> 中文会议>2016年中国（国际）光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛 >酸性抛光液化学机械抛光SUS304不锈钢时pH值作用分析

酸性抛光液化学机械抛光SUS304不锈钢时pH值作用分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

抛光液是化学机械抛光系统中主要组成部分,它的性能及成份与材料去除率和表面质量密切相关.本文以HNO3为pH值调节剂,研究了H2O2、FeCl3两种常用氧化剂的抛光液抛光时pH对材料去除率和表面粗糙度的影响,研究结果表明:在超精密化学机械抛光中,不锈钢化学机械抛光液的氧化剂、pH值对抛光后不锈钢表面的材料去除率影响较大;相同条件下,以硝酸作为pH值调节剂时材料去除率随pH值的增大而降低;酸性条件下化学机械抛光不锈钢时,FeCl3氧化剂的抛光液比双氧水氧化剂的抛光液能获得更大的材料去除率.本文研究结果可为SUS304不锈钢酸性化学机械抛光液的研究提供参考依据.

著录项

来源
《2016年中国（国际）光整加工技术及表面工程学术会议暨2016年中国光整加工技术产学研协调发展论坛》|2016年|31-32|共2页
会议地点辽宁鞍山
作者
苏建修; 田峰; 张骞; 李勇峰; 马利杰;
展开▼
作者单位

中国机械工程学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类抛光;
关键词
不锈钢; 化学机械抛光; 酸性抛光液; 酸碱值; 材料去除率; 表面粗糙度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 化学机械抛光超薄 SUS304不锈钢抛光液研究 [J] . 秦洪权 ,王永胜 ,李庆 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2016,第006期
2. 化学机械抛光304不锈钢用抛光液成分研究 [J] . 刘振辉 ,陈绍坤 ,彭亚男 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2018,第002期
3. 用碱性抛光液化学机械抛光304不锈钢片研究 [J] . 陈佳鹏 ,陈绍坤 ,李庆 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2016,第002期
4. 抛光液pH值等对硬盘玻璃盘基片化学机械抛光的影响 [J] . 朱永华 ,潘国顺 ,戴媛静 . 润滑与密封 . 2007,第011期
5. 钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究 [J] . 张自力 ,金洙吉 ,慕卿 . 金刚石与磨料磨具工程 . 2021,第002期
6. 基于碱性抛光液的化学机械抛光304不锈钢片pH值作用分析 [C] . 苏建修 ,姚建国 ,王占奎 . 第十八届中国磨粒技术学术会议 . 2015
7. 基于摩擦磨损机理的单晶SiC化学机械抛光液组分优化研究 [A] . 张棋翔 . 2021

酸性抛光液化学机械抛光SUS304不锈钢时pH值作用分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅