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微波频率与功率对微波等离子体参数的影响

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近年来，微波等离子体源的研究已经引起了很多学者的关注，其应用也十分广泛，本文研究了微波功率和微波频率对等离子体参数,如电子密度、电子温度、气体温度以及火焰长度的影响.对等离子体的多物理场数值仿真是在基于有限元法的COMSOL Multiphysics中进行的.计算结果显示,等离子体电子密度、电子温度、气体温度都会随着输入微波功率的增大而增大;2450MHz的微波等离子体相比于915MHz的微波等离子体,具有更好的性能.同时,本文对不同输入功率下等离子体火焰长度进行了实验测量,结果显示输入功率对火焰长度仅有很微弱的影响.

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来源
《第十八届全国微波能应用学术会议》|2017年|176-180|共5页
会议地点成都
作者
Xiao Wei; 肖玮; Zeng Xiao-yong; 曾晓勇; Zhu Hua-cheng; 朱铧丞; Huang Ka-ma; 黄卡玛;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类等离子体器件;
关键词
等离子体源; 微波功率; 微波频率; 数值仿真;

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