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氧掺杂离子照射碳膜的摩擦学性能研究

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利用ECR纳米表面加工系统制备了氧掺杂含量分别为0％、12％和24％的离子照射碳膜并分析氧掺杂含量对碳膜摩擦学性能的影响.利用XPS表征了氧掺杂对碳膜化学结构的作用,发现经氧掺杂后,碳膜中氧原子含量增加,sp3键含量增加.采用球盘型摩擦磨损试验机研究了氧掺杂对碳膜摩擦学性能的影响,结果表明经氧掺杂后,碳膜的摩擦系数基本不变,磨损寿命显著增加,并提出氧掺杂引起的sp3键含量增加是改善碳膜摩擦学性能的主要原因.

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来源
《2016年全国青年摩擦学学术会议》|2016年|1-2|共2页
会议地点西安
作者
郭美玲; 杨雷; 刁东风;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
碳纳米材料; 碳膜; 氧掺杂含量; 摩擦学性能;

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