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等离子体基离子注入电压对碳膜化学结构及摩擦学性能的影响

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以乙炔为气源，用等离子体基离子注入(Plasma-bascd ionjmplantation,PBII)技术在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体表面制备了一系列碳膜，并研究了注入电压对碳膜化学结构及摩擦学特性的影响规律。通过X射线光电子谱(XPS)及激光喇曼光谱(Raman)方法分析了薄膜化学结构的变化。研究结果表明薄膜的化学结构强烈依赖于注入负偏压，当注入负偏压低于_5kV时，无法在不锈钢表面形成类金刚石碳(DLC)膜。注入电压在10到40kV范围内，均可形成DLC膜。薄膜中sp3键含量随注入电压的升高而降低，摩擦系数随注入电的升高呈先降低后升高的趋势。

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来源
《2011年全国青年摩擦学与表面工程学术会议》|2011年|509-513|共5页
会议地点北京
作者
王玉江; 马欣新; 唐光泽; 徐滨士;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属表面防护技术;
关键词
等离子体基离子注入; 碳膜化学结构; 摩擦学性能;

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