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温度对单晶硅表面摩擦诱导选择性刻蚀的影响

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摩擦诱导选择性刻蚀为加工纳米凸结构提供了一种方便、实用的方法.为了实现可控的纳米加工过程,本文考察了不同温度下单晶硅表面摩擦诱导选择性刻蚀的特性,研究了温度对蚀刻硅表面的凸结构高度和表面特性的影响,阐释了温度对单晶硅表面的影响机理,最后通过对刻蚀高度、表面粗糙度的对比分析,得出了单晶硅表面选则性刻蚀的最佳条件范围.本研究为单晶硅表面选择性刻蚀加工的条件优化提供了重要依据.

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来源
《2016年全国青年摩擦学学术会议》|2016年|1-3|共3页
会议地点西安
作者
金晨宁; 余丙军; 肖晨; 陈磊; 钱林茂;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
单晶硅; 纳米凸结构; 摩擦诱导选择性刻蚀; 表面粗糙度;

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