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某电子洁净厂房低温多晶硅显示面板生产线气流组织动态模拟

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摘要

CFD技术被广泛应用于洁净厂房气流组织以及污染物传播、分布规律的研究,通过模拟分析指导洁净厂房的设计和运行.然而传统数值模拟通常只考虑稳态情况下洁净厂房的气流组织、污染物以及洁净等级,难以考虑运动对气流的影响作用.本文采用动网格方法对某电子洁净厂房显示面板生产制造工序涉及的机械手臂运动进行了动态数值模拟,分析了局部围护结构(遮罩)内机械手臂运动对气流组织的影响作用,发现遮罩空间内物体运动对气流组织具有明显影响作用,该作用不仅和运动有关,还和初始流场状态、空气流动惯性有关.另外,通过模拟分析还为采用隔离手段的局部洁净空间的设计提供了借鉴.

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来源
《2016年第二十届全国暖通空调制冷学术年会》|2016年|1-10|共10页
会议地点海口
作者
林炎顷; 王欢; 王江标; 图噶沁; 陈怡君; 李先庭;
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作者单位

中国建筑学会;

中国制冷学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TU834.53;
关键词
电子洁净厂房; 通风系统; 气流组织; 数值模拟;

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