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正交试验法优选制作钨尖端条件的方法研究

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扫描隧道显微镜(scanning tunneling microscope,STM)的发明不但使人类能够洞悉原子世界,而且还能通过操纵原子改变世界.STM的极高分辨率与很多因素有关,其中探测元件针尖的质量就是一个最基本的因素.所以自STM发明以来,很多学者都致力于如何制备稳定、清洁、高分辨率的探针.本文针对用于STM的不同直径钨丝,在直流电化学腐蚀法中引入正交试验法,比较容易地优选得出了制备适用尖端的条件参数.

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来源
《2013年全国电子显微学学术会议》|2013年|119-120|共2页
会议地点重庆
作者
梁浩雁; 戴琳; 戴宏;
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作者单位

中国物理学会;

中国电子显微学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;
关键词
扫描隧道显微镜; 钨丝; 正交试验; 尖端条件;

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