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透射电子显微镜原位拉伸台位移的ANSYS模拟

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电子显微学对物理学的重要分支-凝聚态物理学的进步起到至关重要的推动作用.加载原位应力、应变场,直接在原子点阵分辨率下研究凝聚态体系的结构演化过程为发展该学科提供了直接实验基础和重要机遇.微机电系统(MEMS)器件的结构尺寸在微纳米量级,具有很强的尺度效应,其基础力学性能参数无法直接引用宏观材料的经典数据.常规的试验及分析方法显然已不能满足要求,微尺度结构材料基础力学性能测量逐渐成为微纳机电系统领域的一个重要研究方向.rn 本文对以双金属片为驱动装置，可搭载于透射电镜中的MEMS拉伸台进行了仿真设计，通过拉伸台固定支梁与样品搭载平台的尺寸，得到了可以进行单轴拉伸载台的机械框架设计图。提出采用悬臂梁式双金属片来驱动透射电镜原位拉伸台时，可采用：(1)通过较薄的薄膜连接双金属片和拉伸台；(2)减小搭载样品平台的宽度等方法来避免非轴向力对单轴拉伸装置的影响。

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来源
《2013年全国电子显微学学术会议》|2013年|6-7|共2页
会议地点重庆
作者
王晓冬; 毛圣成; 邓青松; 刘攀; 孙世铎; 张泽; 韩晓东;
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作者单位

中国物理学会;

中国电子显微学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子光学仪器;
关键词
透射电子显微镜; 原位拉伸台; 双金属片; 模拟仿真;

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