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MOCVD尾气中氨气吸附回收的探讨与研究

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主要探讨了以氯化钙为吸附剂吸附回收MOCVD尾气中氨气的效果.通过实验,研究了氯化钙状态、氨气分压、初始纯度对氨气吸附比、回收率以及回收纯度的影响.当使用粉末状氯化钙,氨气分压大于4bar,初始纯度大于20％时,氨气吸附比达到5.8,回收率达到99.5％以上,回收的纯度到99％以上.测试了氯化钙的吸附寿命,200次吸脱附氨气后吸脱附比只下降4％左右.

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来源
《全国特种气体第十七次年会》|2013年|34-39|共6页
会议地点武汉
作者
TANG Jianbo; 汤剑波; SONG Changzheng; 宋常征; LI Dongsheng; 李东升;
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作者单位

全国特种气体信息站;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.054.4;
关键词
半导体材料; 气相外延生长技术; 氯化钙; 吸附机理; 氨气回收;

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