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全国特种气体第十六次年会
全国特种气体第十六次年会
召开年:
2012
召开地:
广西北海
出版时间:
2012-10
主办单位:
全国特种气体信息站
会议文集:
全国特种气体第十六次年会论文集
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1.
MOCVD尾气中氨气的回收和循环利用
TANG Jianbo
;
汤剑波
;
LI Dongsheng
;
李东升
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
介绍了用于MOCVD尾气中氨气的回收系统。该系统采用吸附和冷冻的方式回收MOCVD尾气中的氨气,然后经精馏提纯后,再循环利用。主要流程包括:过滤、吸附、冷凝、精馏等。
尾气处理;
氨气回收;
MOCVD技术;
工艺流程;
2.
THC-2脱烃催化剂的性能评价
WEI Hua
;
魏华
;
XIAO Anlu
;
肖安陆
;
QIAN Shengtao
;
钱胜涛
;
LIU Huawei
;
刘华伟
;
ZHANG Qingjian
;
张清建
;
HU Dianming
;
胡典明
;
KONG Yuhua
;
孔渝华
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
主要介绍了THC-2脱烃催化剂在食品CO2中的性能评价及影响因素。结果表明,THC-2在食品CO2中的脱烃性能和强度均优于国内同类型产品,温度、空速、入口烃类含量等影响较小,可以很好地保证食品CO2的总烃指标要求。
二氧化碳;
THC-2脱烃催化剂;
性能评价;
总烃指标;
活性测定;
3.
氮中甲烷、丙烷、丙烯标准样品的制备
SUN Lin
;
孙林
;
LIU Zhijun
;
刘志军
;
LI Yinghui
;
李英辉
;
CHEN Yang
;
陈杨
;
YIN Lingling
;
尹玲玲
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
叙述了氮中甲烷、丙烷、丙烯标准样品制备与定值,以及采用气相色谱法对其稳定性和均匀性进行考核,确保其数据准确可靠。
混合气体;
制备工艺;
稳定性分析;
气相色谱法;
4.
氮气中甲醛的分析方法研究
QU Qing
;
曲庆
;
QIAO Xiaomei
;
乔晓梅
;
LI Fufen
;
李福芬
;
LI Kun
;
李堃
;
CHONG Qing
;
丛庆
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
论述了氮气中甲醛分析方法的研究过程,并对该分析方法进行了不确定度的评定。该方法分析仪器采用GC-MS,通过液体甲醛和丙酮标准样品求得二者的相对校正因子,并以丙酮气体标样和该校正因子来对氮气中甲醛进行定量分析。采用分光光度法与该方法定值结果进行比对验证,比对的数据表明该分析方法定值结果准确、可靠;分析方法不确定度评价结果表明,氮中甲醛分析方法的扩展相对不确定度小于为6.2%。
氮气;
甲醛气体;
定量分析;
测量不确定度;
数学模型;
5.
气相色谱质谱联用法测定液氧中微量的氪和氙
陈鹰
;
吴建军
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
利用气相色谱质谱联用技术中的选择离子监测(SIM)方式对液氧中的微量氪气和氙气进行了测定。选择m/z84作为氪、m/z132作为氙的定量离子。方法简单、快速、选择性好,在浓度为1.0~100μL/L范围内,峰面积与浓度间有良好的线性关系,方法的最低检测浓度小于0.01μL/L。
液氧;
氪氙含量;
检测技术;
气相色谱质谱联用法;
6.
四氢硼钠转化法测定高纯气体中微量水
常侠
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
四氢硼钠转化柱在一定条件下可将气体中的微量水转化成氢气,采用氧化锆气相色谱法测定氢气的含量,从而得出气体中水含量。此方法在一定条件下反应快速、完全、重现性好。而使用氧化锆气相色谱法测定氢气样品消耗少、灵敏度高的优势。
高纯气体;
微量水分;
检测技术;
四氢硼钠转化柱;
7.
有关提高气体测量准确性的探讨
李勇
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
通过对衡量仪器(质量比较器或电子天平)的原理及如何正确使用等方面的阐述,系统地探究衡量仪器在配气重量法运用中的特点,以确保在配备混合气体时达到最佳效果和精度。
混合气体;
配备技术;
重量法;
衡量仪器;
测量精度;
8.
流动现场监测用微型PDHID气相色谱仪的研制及其应用
张天龙
;
章复康
;
高福利
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
应用进口VICI公司的脉冲放电氦离子化检测器(PDHID)、网络化电控系统、四阀三柱气路系统和结构小型化设计,研制成功一种可方便移动到现场监测的高灵敏度微型气相色谱仪,可应用于有关高纯气体生产现场和大型变压器现场进行现场在线监测。
气相色谱仪;
结构设计;
在线监测;
技术标准;
9.
应用PDHID色谱仪检测超高纯氨(7N)的方法研究
ZHANG Fukang
;
章复康
;
CHEN Hexiang
;
陈荷香
;
ZHANG Tianlong
;
张天龙
;
WANG Hai
;
王海
;
WANG Lei
;
王磊
;
HUANG Junpin
;
黄军聘
;
ZHU Weili
;
朱威莉
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
应用PDHID气相色谱仪的后切割背景气放空的气路流程,采取背景扣除、基线扣除等手段,排除空气微渗透的影响,以外标法检测超高纯产品氨(7N)中10ppb量级的H2、O2、N2、CO和CO2等杂质气体的方法进行了实验研究。
超高纯氨气;
杂质含量;
检测技术;
PDHID气相色谱仪;
10.
电子特气中痕量水分测量方法
高艳秋
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
随着电子工业的发展,对电子特气质量的要求越来越严格。而作为重要的质量控制指标,如何准确可靠的测定电子特气中痕量水分是电子特气分析中所要面对的主要问题之一。本文讨论了对电子特气中痕量水分的测量方法,包括取样方法和分析设备等。
电子特种气体;
质量控制;
痕量水分;
测量方法;
11.
红外吸收光谱(NDIR)检测混合气体中二甲醚含量分析法
HUANG Jixian
;
黄继先
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
利用非分光红外吸收光谱法(NDIR),采用中红外光源(波长:2.5~25μm)和主要包括样品气气阻、样品泵、红外吸收池和电路模块技术建立了混合气体中二甲醚气体成分光谱检测系统,并使用该系统对混合气体中的二甲醚气体成分进行了测量,得到了1.0×10-2的检测灵敏度。整个光谱检测系统具有很好的光谱分辨率、选择性以及测量灵敏度,适用于各种混合气体中二甲醚气体成分的检测。
混合气体;
二甲醚含量;
检测技术;
红外吸收光谱法;
12.
六氟化钨中杂质含量的测定
ZHENG Qiuyan
;
郑秋艳
;
WANG Shaobo
;
王少波
;
LI Xiangyu
;
李翔宇
;
ZHUANG Hongtac
;
庄鸿涛
;
YANG Kang
;
杨康
;
FANG Hua
;
方华
;
ZHOU Pengyun
;
周朋云
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
介绍了一种利用氦离子化检测器( PDHID)、傅立叶红外光谱检测器(FTIR)分析六氟化钨中微量四氟化碳、氧+氩、氮、二氧化碳、一氧化碳、四氟化硅、六氟化硫、氟化氢的方法。经过方法验证证明,该方法能够达到较高的准确度和精密度。
六氟化钨;
杂质含量;
检测技术;
氦离子化检测器;
傅立叶红外光谱检测器;
13.
Au/Fe2O3-MOx催化剂在气体纯化中的应用研究
ZHANG Fengli
;
张凤利
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
电子产业对所使用的气体纯度要求越来越高,气体的纯化工艺变得尤为重要。文中引入了第五周期过渡金属、稀土金属,并考察这些助剂对Au/Fe2O3催化剂性能的影响规律,以期筛选出具有高活性和高稳定性的CO氧化负载型纳米Au/Fe2O3-MOx催化剂,为负载型纳米金催化剂在高纯气体生产领域的应用奠定良好的基础。
电子气体;
纯化工艺;
催化剂;
反应机理;
性能评价;
14.
背压氦离子气相色谱系统在高纯气体分析中的应用
杨任
;
杨四川
;
王涵文
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
介绍了一种新型的利用背压气相色谱系统和氦离子化检测器(PDHID)来对高纯气体中痕量杂质的检测方法。经过实验证明,该方法能够提高分离度和氦离子化检测器的灵敏度,其检测限达到0.45 ppb(以甲烷计),目前市场上商品化高纯气体检测方法提高了近一个数量级,可以轻松应对7N级以上高纯气体产品的分析。
高纯气体分析;
痕量杂质;
检测技术;
背压氦离子气相色谱系统;
15.
UHP气体系统中水分杂质的特性及仪表使用
张大伟
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
现代半导体工厂和特气工厂使用复杂的气体输送系统(GDS)用来将UHP气体从大宗气体纯化器输送到工艺过程之中。一般来讲,这些GDS系统都配备有连续质量控制系统(CQC系统)用于保证输送到工艺流程中的气体所含杂质的水平不超过正常的限度,从而提高工艺的产出。随着UHP气体的等级越来越高,也对高纯气体的杂质的分析提出了越来越高的要求。
高纯气体;
水分杂质;
质量控制;
工艺流程;
气体输送系统;
16.
四氟化碳精馏系统的工艺改进
崔学文
;
张春芳
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
四氟化碳连续精馏塔的温度和压力波动,严重影响了精馏塔的稳定操作和产品的质量。通过分析粗品的组成和精馏操作,优化工艺,采用间歇精馏的方法对粗品气进行初步分离,保证连续精馏塔进料组成恒定,实现了连续精馏的稳定操作,保证了产品的纯度稳定在3N以上。
四氟化碳;
连续精馏系统;
工艺优化;
产品质量;
17.
四氟化碳喷淋水洗塔的设计计算与应用
王筠
;
崔学文
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
为满足年产100t四氟化碳的需要,须对水洗塔进行设计,用以除去混合气中的酸性杂质。实际运行证明,喷淋水洗塔可以满足四氟化碳生产的需要,有效地保证了产品的酸度。
四氟化碳;
喷淋水洗塔;
结构设计;
运行管理;
18.
密闭空间净化二氧化碳的实验研究
ZHANG Huan
;
张欢
;
LIU Yingshu
;
刘应书
;
LIU Wenhai
;
刘文海
;
JIA Yanxiang
;
贾彦翔
;
ZHOU Fuguo
;
周富国
;
HAN Zhifang
;
韩志芳
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
为了解决人员呼吸产生二氧化碳造成密闭空间内二氧化碳浓度不断上升的问题,研究了密闭空间空气净化技术,设计实验研究了不同化学吸附剂去除二氧化碳的效果。结果表明,高径比对氢氧化钙、钠石灰吸附二氧化碳有较明显的影响,对氢氧化锂吸附二氧化碳影响不显著。三种吸附剂的最优工况为:吸附塔高为80mm时,钠石灰去除二氧化碳的效果最好。
二氧化碳;
空气净化技术;
密闭空间;
实验设计;
19.
一种用氯碱氢生产各种规格氢气产品的工艺概述
CAI Tijie
;
蔡体杰
;
LIU Weiwei
;
刘炜炜
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
概述用氯碱工业副产的氢气,经脱氯、脱氧、干燥、变压吸附和低温吸附分离技术,生产工业氢、纯氮、高纯氢和超纯氢,并对该工艺技术进行评述。
氢气;
生产工艺;
产品质量;
技术标准;
20.
氧化亚氮加氧气配制方法的研制
刘丽华
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
在配制氧化亚氮与氧气混合气过程中,充装完氧化亚氮之后,再充装氧气时,气瓶上、下的温差相差非常大,本文阐述了通过实验解决了气瓶上、下没有温度差的问题。
混合气体;
氧化亚氮;
氧气;
制备工艺;
温度控制;
21.
氦中氪氙气体标准物质研制
ZHANG Qinying
;
张勤英
;
TANG Yuanming
;
唐元明
;
ZHANG Jun
;
张军
;
GONG Youjin
;
龚有进
;
LIU Qiang
;
刘强
;
YAN Zhaotong
;
闫钊通
;
MA Jun
;
马浚
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
论述了静态体积法制备氮中氪、氙气体标准物质的方法、稳定性参考值,不确定度计算方法。该研制方法可行,最值准确可靠。
氦中氪氙气体;
制备工艺;
稳定性分析;
技术标准;
22.
P2O5与CaF2制备PF5工艺研究
LIU Chunxue
;
刘春雪
;
CUI Xuewen
;
崔学文
;
HE Deng
;
贺邓
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
以P2O5和CaF2为原料,采用加热的方法制备PF5气体,并研究了反应温度、反应时间及P2O5和CaF2质量比对PF5产率的影响。结果表明,制备PF5的最佳条件:反应温度控制在280~300℃之间,反应时间5h,PF5和CaF2质量比为2.5∶1。
五氟化磷气体;
制备工艺;
温度控制;
反应机理;
23.
含氟电子气体研究进展
Li Shengji
;
李盛姬
;
Liu Caibo
;
柳彩波
;
Liu Wucan
;
刘武灿
;
Zhang Jianjun
;
张建君
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
含氟电子气体在半导体/电子工业中主要用作清洗剂和刻蚀剂。本文综述了含氟电子气体品种、性能及其研究进展,指出研究方向与新一代含氟电子气体,以供同仁参考.
含氟电子气体;
性能参数;
品种资源;
环境保护;
24.
超纯气体纯化设备的研发与应用
侯鹏
;
付启贵
;
李文强
;
赵霖
;
高嵩
;
乐韵
;
皮山丹
;
邱长春
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
介绍了采用催化氧化、化学吸附、物理吸附、吸气剂等技术联用,对氮气、氢气、氩气等进行超纯气体纯化的系列新工艺。该系列工艺配合使用洁净管道、管件、阀门、洁净施工,所生产出的纯化器产气纯度可达8N以上,各种有害杂质均小于1ppb,确定了所开发的氮气、氢气、氩气纯化工艺产气指标、抗波动能力及适用性均可满足半导体行业发展需求。
超纯气体;
纯化工艺;
性能指标;
流程设计;
25.
氟碳直接合成高纯四氟化碳的工艺技术
唐忠福
;
肖三
;
桂思祥
;
马建修
;
夏致远
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
随着半导体产业的迅猛发展,高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而,生产高纯CF4的技术报道较少,限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术,并作出了展望,同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺,生产的高纯CF4质量好成本低,可以满足国内市场的需要。
四氟化碳;
合成工艺;
产品质量;
纯化技术;
26.
硒化氢的性质及制备方法
XIA Shanlin
;
夏山林
《全国特种气体第十六次年会》
|
2012年
摘要:
硒化氢用于集成电路制造过程中的原材料、掺杂气体和还原气。由硒化氢直接与锌合成的硒化锌是重要的红外光学材料之一,是高功率CO2激光器系统中光学器件的首选材料。文章介绍了硒化氢的几种制备方法并对每种方法做了评价。
硒化氢;
制备工艺;
性能评价;
产品质量;
27.
2012中国气体
孙福楠
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
对2012年中国气体包括:标准气体、混合气体以及电子气体的现状进行了详细的评论描述,提出中国气体发展的具体建议和想法。
气体产业;
行业竞争;
市场分析;
企业管理;
28.
气体能源发展的助推器
席根
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
能源是现代工业的血液,能源资源是人类社会繁荣发展的至关重要因素,人类社会发展的助推器,是保证国家安全、实现可持续发展的基础。随着低碳经济时代的到来,随着我国国民经济平稳较快的发展,对能源需求的持续增加,以及实现碳减排和建设低碳城市发展要求,"气体能源"作为一种低碳、高效、安全的清洁能源,是改善能源结构,促进经济增长和环境可持续发展的重要物质基础。
气体能源行业;
产业结构;
能源结构;
低碳经济;
29.
JJG945-2010《微量氧分析仪》检定结果不确定度的评定
LI Chunying
;
李春瑛
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
介绍了JJG945-2010《微量氧分析仪》检定结果不确定度的评定过程。对该规程所涉及的工作原理、测量标准、测量过程等方面的内容进行了描述。对规程评定依据、评定步骤中测量误差数学模型的建立、不确定度的来源、计量标准不确定度的合成等内容进行了阐述,给出了微量氧分析仪检定结果不确定度的验证结果。用于指导该领域从业人员进行不确定度评价时参考和借鉴。
气体工业;
微量氧分析仪;
测量不确定度;
数学模型;
30.
二维气相色谱技术在电子工业用全氟丙烷分析中的应用
LIN YuWei
;
林宇巍
;
CHEN Rong
;
陈熔
;
ZHOU Zhen
;
邹震
;
CHEN Hua
;
陈华
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
采用双通道二维气相色谱技术和脉冲氦离子化检测器相结合,完成了电子工业用全氟丙烷气体中微量杂质含量的测定。利用一根填充柱作为预柱,分离主组分和杂质组分,两根并联的填充柱作为分析柱完成杂质组分的分离,并通过阀事件时间程序的优化实现了一次进样完成全氟丙烷中微量氢、氧(氩)、氮、一氧化碳、二氧化碳、四氟化碳和六氟乙烷杂质分析,结果表明该方法具有重复性好、检测限低、分析时间短、操作方便等特点。
全氟丙烷气体;
微量杂质;
含量测定;
二维气相色谱技术;
31.
氯化氢色谱分析
LIU Sheng
;
刘胜
;
ZHUANG Hongtao
;
庄鸿涛
;
YU Guang
;
郁光
;
YANG Kang
;
杨康
;
LI Xuna
;
李绪娜
;
FANG Hua
;
方华
;
ZHANG Jirui
;
张吉瑞
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
采用氦离子检测器(PDHID)气相色谱分析方法测定氯化氢(HCl)中的杂质,结果表明氦离子检测器(PDHID)对HCl分析有较好的效果,并验证其测量应用范围。
氯化氢;
纯度鉴定;
气相色谱分析;
氦离子检测器;
测量精度;
32.
紫外分光光度计法检测超纯氨中铁含量的研究
WANG Hai
;
王海
;
CHEN Qifeng
;
陈琦峰
;
WANG Lei
;
王磊
;
HUANG Junpin
;
黄军聘
;
ZHU Weili
;
朱威莉
;
XIAO Xiaofang
;
肖小芳
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
随着LED等行业的飞速发展,作为重要原材料氨气的需求量越来越大,纯度要求也越来越高,其中铁含量是评价超纯氨质量的一个重要指标,对于铁含量的检测已经成为超纯氨生产与使用过程中的一个重要环节。本文介绍了目前检测超纯氨中铁含量的常用方法;包括样品的制备,检测原理,检测步骤与检测结果的合理判断;并对一些技术问题进行探讨,开辟一条检测超纯氨中铁含量的新方法,为超纯氨的工业化生产做出贡献。
超纯氨气;
质量标准;
铁含量;
检测技术;
紫外分光光度计法;
33.
AGC公司单台DID气相色谱仪对多种气体的分析应用
ZENG Sufang
;
曾素芳
;
LIU Lihua
;
刘丽华
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
气体行业的发展促使气体分析产业技术不断更新,分析仪器日益先进。AGC公司的通用型DID气相色谱仪通过运用先进的技术,将多种高纯气体、电子工业气体、惰性气体、特种气体、腐蚀性气体等的分析在单台气相色谱仪上顺利实现,而其稳定的性能和优良的检测器灵敏度保证了各种气体分析的准确性,在气体分析行业中开辟了新的应用领域。
气体分析;
DID气相色谱仪;
稳定性分析;
灵敏度;
34.
EH-4型丙烯专用COS水解催化剂的研制及其工业应用
WEI Hua
;
魏华
;
XIAO Anlu
;
肖安陆
;
ZHANG Qingjian
;
张清建
;
HU Dianming
;
胡典明
;
CHEN Jian
;
陈健
;
WANG Xianhuo
;
王先厚
《全国特种气体第十六次年会》
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2012年
摘要:
主要介绍了EH-4型丙烯专用COS水解催化剂的研制及其在丙烯脱硫中的应用情况。对比了国内同类型产品的丙烯脱硫催化剂,结果表明该催化剂COS转化率和出口COS含量等指标均优于国内同类产品,工业应用情况良好。
聚丙烯;
生产工艺;
COS水解催化剂;
性能指标;
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