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电子工业用超高纯过氧化氢的制备工艺进展

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简要介绍了电子工业用超高纯过氧化氢(H2O2)水溶液的应用和规范.详细综述了通过超滤法、冷冻结晶法、萃取法、反渗透膜法、吸附法、蒸馏法和树脂法精制H2O2水溶液的工艺,并总结了各方法的优缺点.指出当前H2O2水溶液精制技术的发展趋势是将上述单一方法进行集成,同时重点介绍了将多种单元操作相集成来制备电子工业用超高纯H2O2水溶液的工艺.

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来源
《中国无机盐工业协会过氧化物分会2013年行业年会》|2013年|1-32|共32页
会议地点江西九江
作者
YU Jiankun; 于剑昆;
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作者单位

中国无机盐工业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电子工业用试剂;
关键词
电子工业; 超高纯过氧化氢; 制备工艺; 技术分析;

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