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不同射频功率下基于多功率源梯度过渡层的掺硅非晶碳膜的制备及水润滑性能

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采用溅射、反应溅射与射频化学气相沉积相结合的多功率源技术在不锈钢沉积了梯度过渡层及掺硅非晶碳膜,考察了射频功率(20w、60w、100w)对薄膜的机械及摩擦学性能的影响.结果表明,在本工作条件下,随着施加在基体上的射频功率的提高,薄膜的硬度、弹性模量以及内应力呈现出先增大、后趋于平稳的趋势;在水润滑条件下,所得薄膜的摩擦系数基本相同,约为0.05,但较低功率下所得薄膜的磨损较高.

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来源
《第十一届摩擦学大会》|2013年|1-3|共3页
会议地点兰州
作者
黄一鸣; 吴行阳; 邓兆兴; 张建华;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
掺硅非晶碳膜; 制备工艺; 水润滑性能; 多功率源梯度过渡层;

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